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- 杜世昌
- 螺旋式三维表面形貌测量方法及装置
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- 黎雪峰何晓宇林东生
- 一种基于椭圆拟合的三维表面形貌测量及计算方法
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- 孙文卿张惠蓉鲍海宇朱嘉欣许星楠唐运海
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- 一种异方性导电胶膜的三维表面形貌检测方法
- 本发明提供一种异方性导电胶膜的三维表面形貌检测方法，用于检测异方性导电胶膜的三维表面形貌缺陷，具体涉及非相干光二维检测领域与相干光数字三维重建技术领域。本发明首先利用线扫相机搭配非相干白色线性光源采用明暗场两种打光方式对...
- 罗慧雄黄雅丽潘锋
- 基于白光干涉的三维表面形貌拼接方法研究
- 2024年
- 白光干涉测量技术由于具有非接触、无损伤、量程大、精度高和灵敏度高等特点,被应用于微纳米结构三维表面形貌测量中,但存在受限于显微物镜视场限制测量范围问题。提出了一种可以有效提高测量范围的三维表面形貌拼接方法。通过对多次采集的小范围高分辨率白光干涉图样进行域划分,采用三维形貌数据拼接配准方法,利用模板匹配算法对图像的二值化矩阵进行匹配计算,实现了待测元件的表面形貌的有效表征。研究发现,当采用不同的图像拼接方式即上下拼接、左右拼接和2&2拼接方式时,图像拼接效果有一定差异,其准确度和产生的误差不同。三种拼接方式中,2&2拼接方式能够有效减小操作误差,实现大范围和高分辨干涉图样拼接,在白光干涉三维形貌表征中具有广阔应用前景。
- 任瑛黄育争魏长胜申展刘颖刚
- 关键词：白光干涉仪表面形貌图像划分
- 一种三维表面形貌测量方法及系统
- 本发明提供一种三维表面形貌测量方法及系统，所述方法包括：将预设的一组相移条纹图案的结构光依次投射到垂直扫描的待测物体表面，以获取一组携带物体高度信息的捕获图像；通过提取一组捕获图像中任一像素位置的强度值，获得所述任一像素...
- 刘晓军叶卓杭柴常春曲通
- 三维表面形貌测量方法及装置
- 本发明公开了一种三维表面形貌测量方法及装置，三维表面形貌测量方法包括：获得被测物体在不同旋转半径下不同转角的高度数据；获得标定物体不同步进点的高度数据；基于获得的标定物体不同步进点的高度数据获得被测物体不同旋转半径对应的...
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- 三维表面形貌测量方法及装置
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- 一种准确获取喷涂层三维表面形貌的方法
- 本发明公开了一种准确获取喷涂层三维表面形貌的方法，属于涂层表面处理技术领域。将待测喷涂层样品放置在小立柱形成的包络体内部；对待测喷涂层样品和小立柱进行固化、磨抛并拍摄，获得待测喷涂层样品截面，重复前述的磨抛和拍摄步骤，每...
- 杨冠军黄亚萍刘梅军张鑫赵春玲
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- 供职机构：武汉理工大学
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- 供职机构：河南科技大学
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- 万雄
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