搜索到 篇“ 下一代光刻 “的相关文章

相关作者

李艳秋
作品数：438被引量：332H指数：11
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
陈宝钦
作品数：198被引量：261H指数：9
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
张飞
作品数：10被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：PROLITH 仿真 浸没式ARF光刻 光刻 杂散光
刘明
作品数：1,354被引量：401H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
邱孟通
作品数：117被引量：127H指数：7
供职机构：西北核技术研究所
研究主题：Z箍缩 硬X射线 探测器 束流 粒子加速器