搜索到 篇“ 光刻设备 “的相关文章

相关作者

张鸣
作品数：403被引量：299H指数：10
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
杨彦涛
作品数：110被引量：2H指数：1
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：沟槽 功率器件 功率半导体器件 半导体 接触孔
胡松
作品数：472被引量：450H指数：9
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
付新
作品数：143被引量：53H指数：4
供职机构：浙江大学
研究主题：磁悬浮 光刻机 浸没 阀芯 浸液
姚汉民
作品数：175被引量：243H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体