搜索到 篇“ 光学邻近效应 “的相关文章

相关作者

李艳秋
作品数：440被引量：334H指数：11
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
罗先刚
作品数：676被引量：325H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
马旭
作品数：94被引量：13H指数：2
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻系统 成像模型 掩模 光源 矢量
郭永康
作品数：136被引量：574H指数：14
供职机构：四川大学物理科学与技术学院
研究主题：光刻 惯性约束聚变 全息图 分数傅里叶变换 干涉光刻
王长涛
作品数：214被引量：61H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射