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徐向东
作品数：142被引量：357H指数：11
供职机构：中国科学技术大学
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洪义麟
作品数：184被引量：403H指数：11
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
刘颖
作品数：130被引量：178H指数：8
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射光栅 全息光刻
付绍军
作品数：197被引量：364H指数：9
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
吴建宏
作品数：219被引量：265H指数：9
供职机构：苏州大学
研究主题：光栅 全息光栅 衍射效率 全息 离子束刻蚀