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单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响: 2024年; [目的]目前钴(Co)互连化学机械抛光(CMP)使用的传统唑类抑制剂(如苯并三氮唑)一般有毒性,会对环境造成危害。[方法]在以甘氨酸为配位剂、过氧化氢为氧化剂和SiO_(2)(平均粒径60 nm)为磨料的情况下,添加阴离子型表面活性剂单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)和非离子型表面活性剂烷基糖苷(APG)作为抑制剂,得到绿色环保的抛光液。先从Co的去除速率和静态腐蚀速率、抛光液的润湿性及抛光后Co的表面品质入手,研究了MAPK与APG对Co互连CMP的影响。接着通过电化学分析和密度泛函理论分析,构建出两种表面活性剂在Co表面的吸附模型,探讨了它们对Co互连CMP的影响机制。[结果]MAPK与APG复配时抛光液的润湿性最好,Co镀膜片在CMP过程中的去除速率和静态腐蚀速率分别为454 nm/min和1 nm/min,抛光后表面品质良好,无腐蚀缺陷。[结论]MAPK和APG都较环保,有望替代传统抑制剂用于钴互连化学机械抛光。; 田雨暄王胜利罗翀王辰伟孙纪元张国林; 关键词：化学机械抛光烷基糖苷去除速率密度泛函理论

一种测定单烷基磷酸酯含量的磷钼蓝紫外分光光度分析方法: 本发明提供了一种以磷钼蓝比色法为基础的单烷基磷酸酯纯度分析方法。所用试剂选用均普通易得，精确度高，分析准确，条件简单可控，对高纯度单烷基磷酸酯的工艺优化和质量控制有着重要意义。; 姚雨刘雪锋

单烷基磷酸酯钾盐抑制剂对Co互连化学机械抛光的影响: 2024年; 针对抛光液中传统抑制剂如苯丙三氮唑(BTA)等具有毒性,会污染环境等问题,以SiO2为磨料,在甘氨酸-双氧水体系下,使用单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)作为新型抑制剂制备Co互连粗抛抛光液,通过抛光和静态腐蚀实验和电化学、光电子能谱、接触角分析等表征方式揭示MAPK在化学机械抛光(CMP)中对Co表面质量的改善以及对Co的抑制机制。结果表明:MAPK通过物理吸附和化学吸附方式在Co表面形成的致密钝化膜,可以很好地抑制Co的腐蚀,从而可以在较低的静态腐蚀速率下获取较高的去除速率;加入MAPK可以提高抛光液的润湿性,能够显著改善Co互连抛光后的表面质量,使Co的去除速率大于500 nm/min,静态腐蚀速率小于1 nm/min,表面粗糙度小于0.5 nm。; 田雨暄王胜利王胜利王辰伟张国林王辰伟冯鹏盛媛慧; 关键词：钴化学机械抛光抑制剂去除速率

一种单烷基磷酸酯（盐）囊泡及其制备与应用: 本发明涉及一种单烷基磷酸酯(盐)囊泡及其制备与应用。单烷基磷酸酯(盐)常温下在水中的溶解度低，且无法构筑囊泡结构，限制了应用。向单烷基磷酸酯(盐)和水的分散体系中加入助溶剂短直链脂肪醇或/和胍基化合物，提高了单烷基磷酸酯...; 杜娜高美华王春省侯万国李海平; 文献传递

一种单烷基磷酸酯（盐）囊泡及其制备与应用: 本发明涉及一种单烷基磷酸酯(盐)囊泡及其制备与应用。单烷基磷酸酯(盐)常温下在水中的溶解度低，且无法构筑囊泡结构，限制了应用。向单烷基磷酸酯(盐)和水的分散体系中加入助溶剂短直链脂肪醇或/和胍基化合物，提高了单烷基磷酸酯...; 杜娜高美华王春省侯万国李海平; 文献传递

单烷基磷酸酯的合成及其对纺丝油剂性能的影响: 用磷钨酸(PW)以浸渍法改性HMCM-22分子筛，并用XRD，SEM，FT-IR对催化剂进行表征，发现改性后的HMCM-22分子筛原有的结构和特征未发生变化。在改性后的分子筛应用于催化十二醇与五氧化磷(P2O5)摩尔比为...; 郭明明; 关键词：单烷基磷酸酯合成工艺酯化反应纺丝油剂表面活性

一种含单烷基磷酸酯的滋养保湿沐浴露: 本发明涉及了一种含单烷基磷酸酯的滋养保湿沐浴露，属于日化领域。其起保湿滋润作用的有效成分为香菇、银耳、白蘑菇和枸杞的提取物。该沐浴露原料组成重量百分比如下：单烷基磷酸酯(MAP)6～15％、阴离子表面活性剂1～5％、非离...; 陈凤凤杨成曹光群; 文献传递

直链单烷基磷酸酯独特的会合表现以及在化妆品上的应用: 烷基磷酸酯在化妆品以及洗涤用品中,在很早以前就已经是一款众所周知的温和的表面活性剂。但是,到现在为止大多数市场上所提供的烷基磷酸酯都是由单酯、双酯、三酯的混合物,单酯特有的性能已被埋没。换句话说,使用纯度高的单酯支链型单...; 田中佳祐魏巍鈴木敏幸; 关键词：单烷基磷酸酯 L-精氨酸; 文献传递

直链单烷基磷酸酯独特的会合表现以及在化妆品上的应用: 烷基磷酸酯在化妆品以及洗涤用品中，在很早以前就已经是一款众所周知的温和的表面活性剂。但是，到现在为止大多数市场上所提供的烷基磷酸酯都是由单酯、双酯、三酯的混合物，单酯特有的性能已被埋没。换句话说，使用纯度高的单酯支链型单...; 田中佳祜魏巍铃木敏幸; 关键词：单烷基磷酸酯 L-精氨酸

单烷基磷酸酯的提纯方法: 该发明属于单烷基磷酸酯的提纯方法。包括以工业纯单烷基磷酸酯为原料，通过配制原料溶液及中和处理液，经中和处理、酸化处理、萃取、蒸馏及干燥、粉碎从而获得高纯度的单烷基磷酸酯制品。该发明由于通过中和处理使磷酸酯生成既难溶于水、...; 颜杰余照权唐楷张涌陈虹; 文献传递

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