搜索到 篇“ 异构集成 “的相关文章

相关作者

黄旼
作品数:51被引量:31H指数:3
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:硅基 微流体 异构集成 集成技术 压电层
朱健
作品数:233被引量:241H指数:9
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 MEMS开关 微机电系统 毫米波
赵宇
作品数:29被引量:40H指数:5
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微系统 硅基 异构集成 微电子机械系统 MEMS
孔月婵
作品数:218被引量:140H指数:6
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:金刚石 衬底 键合 二维电子气 氮化镓
刘军
作品数:190被引量:98H指数:5
供职机构:杭州电子科技大学
研究主题:背栅 SOI工艺 射频开关 毫米波 螺旋电感