搜索到 篇“ 微机械技术 “的相关文章

相关作者

王跃林
作品数：719被引量：794H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
周兆英
作品数：631被引量：2,804H指数：27
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：微型飞行器 MEMS 微机电系统 微型机械 传感器
鲍敏杭
作品数：100被引量：210H指数：8
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
王言
作品数：24被引量：4H指数：1
供职机构：复旦大学
研究主题：微机械 超声换能器 微机电技术 压电层 压力传感器
任俊彦
作品数：475被引量：279H指数：7
供职机构：复旦大学
研究主题：集成电路技术 模数转换器 超宽带系统 频率综合器 运算放大器