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刘正坤
作品数：102被引量：116H指数：6
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光栅 软X射线 离子束刻蚀 衍射效率 全息
付绍军
作品数：197被引量：363H指数：9
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
徐向东
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供职机构：中国科学技术大学
研究主题：离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
洪义麟
作品数：184被引量：403H指数：11
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线