搜索到 篇“ 淀积速率 “的相关文章

相关作者

吴嘉丽
作品数：38被引量：64H指数：6
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：惯性开关 微机电系统 LPCVD G值 多晶硅薄膜
谭刚
作品数：32被引量：31H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 LPCVD CMP 多晶硅薄膜 淀积速率
李仁锋
作品数：18被引量：30H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 低压化学气相淀积 LPCVD MEMS
朱虹
作品数：68被引量：50H指数：6
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：热阴极 蒸发 螺旋线行波管 收集极 海绵
吉小松
作品数：9被引量：22H指数：4
供职机构：复旦大学材料科学系
研究主题：STM 扫描隧道显微镜 电学性质 改性 超大规模集成电路