搜索到 篇“ 湿法清洗 “的相关文章

相关作者

张昱
作品数:256被引量:2H指数:1
供职机构:广东工业大学
研究主题:纳米金属 芯片 纳米铜 烧蚀 基板
刘宇
作品数:15被引量:0H指数:0
供职机构:广东工业大学
研究主题:纳米金属 电镀铜 湿法清洗 玻璃基板 集成封装
陈波
作品数:64被引量:24H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
廖威
作品数:85被引量:57H指数:3
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:熔石英 激光 激光清洗 激光损伤 CO2激光
姚嫦娲
作品数:34被引量:0H指数:0
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 刻蚀工艺 互连 空气隙 通孔