搜索到 篇“ 超深亚微米集成电路 “的相关文章

相关作者

刘波
作品数:91被引量:150H指数:6
供职机构:四川大学
研究主题:阻挡层 扩散阻挡层 SUB 超深 铜互连
林黎蔚
作品数:39被引量:10H指数:2
供职机构:四川大学
研究主题:扩散阻挡层 阻挡层 铜互连 超深 SUB
张彦坡
作品数:19被引量:0H指数:0
供职机构:四川大学
研究主题:扩散阻挡层 超深 SUB 阻挡层 铜互连
刘春海
作品数:56被引量:55H指数:4
供职机构:四川理工学院
研究主题:薄液膜 微弧氧化 液膜厚度 铂电极 金属腐蚀
恩云飞
作品数:414被引量:379H指数:9
供职机构:工业和信息化部电子第五研究所
研究主题:可靠性 集成电路 单粒子效应 木马 电迁移