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石云波
作品数：480被引量：690H指数：13
供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室
研究主题：加速度计 MEMS 加速度传感器 高过载 散斑
刘俊
作品数：1,516被引量：2,154H指数：17
供职机构：中北大学
研究主题：加速度计 色心 金刚石 微加速度计 传感器
唐军
作品数：471被引量：300H指数：9
供职机构：中北大学
研究主题：色心 金刚石 偏振光 谐振子 谐振腔
李昕欣
作品数：533被引量：372H指数：10
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
李孟委
作品数：492被引量：174H指数：8
供职机构：中北大学
研究主题：石墨烯 光栅 微陀螺 电极 MEMS