搜索到37篇“ MIM薄膜二极管“的相关文章
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- 2003年
- 制备了一种用于有源矩阵液晶显示的具有对称结构、较好 I-V特性对称性和较高电流通断比的 MIM薄膜二极管。采用了基于反应溅射的多层膜工艺制备其 Ta2 O5绝缘层。采用原子力显微镜 (AFM)对 Ta2 O5膜进行了表面分析 ,并对 MIM薄膜二极管的 I-V特性进行了测试。AFM分析结果表明 ,电子束蒸发 /反应溅射 /电子束蒸发法工艺制备的绝缘膜表面平整 ,膜层较致密 ;I-V特性测试结果显示 ,MIM-TFD的电流通断比约为 1 0 5,I-V特性曲线的非线性系数为 1 0 ,左右阈值电压分别为 6.3 V和 5 .8V,具有良好的对称性。该
- 钟锐黄蕙芬张浩康王震马俊
- 关键词：多层介质膜MIM薄膜二极管I-V特性反应溅射电子束蒸发
- 热处理对MIM薄膜二极管中Ta_2O_5膜表面形貌的影响
- 2003年
- 采用了一种较为新颖的真空热处理和大气气氛下热处理相结合的热处理工艺 ,并应用到两种以反应溅射工艺为基础制备出的多层 Ta2 O5膜样品的后处理上。 AFM结果显示 ,经过真空和大气热处理之后 ,两种 Ta2 O5膜样品的表面平整度均得到了较大改善 ,反映出膜内部结构的致密性也得到了较大提高 ,这将一定程度改善以该膜为绝缘层的 MIM- TFD的漏电流和耐击穿电压等电性能。此外 ,其中的大气热处理工艺所需要的设备和操作程序非常简单 ,成本较低 ,这也为 MIM-
- 张浩康钟锐许晓伟
- 关键词：MIM薄膜二极管表面形貌反应溅射电子束蒸发原子力显微镜
- MIM薄膜二极管及其阵列的研究
- 目前,液晶显示在信息显示领域中正占越来越重要地位,MIM有源矩阵是液晶显示中的一个重要发展方向.该文阐述了有源矩阵液晶显示中MIM薄膜二极管(TFD)的结构及工作原理;在分析了国内外研究现状及存在问题的基础上,对MIM-...
- 钟锐
- 关键词：薄膜二极管
- 文献传递
- 有源矩阵液晶显示用MIM薄膜二极管的工艺研究
- 本文分析了用于有源矩阵液晶显示的MIM薄膜二极管的国内外研究现状及存在的问题,在此基础上,对MIM薄膜二极管的制备工艺进行了改进。
- 张浩康钟锐黄蕙芬
- 关键词：薄膜二极管有源矩阵液晶显示
- MIM薄膜二极管Ta_2O_5绝缘膜的AFM分析及其I-V特性研究被引量：5
- 1999年
- 制备了一种用于有源矩阵液晶显示的Ｔａ－Ｔａ２Ｏ５－Ｔａ 结构ＭＩＭ 薄膜二极管。其中，作为介质层的Ｔａ２Ｏ５ 膜由不同成膜技术得到。采用原子力显微镜（ＡＦＭ）对Ｔａ２Ｏ５ 膜进行了表面形貌分析，并对其ＭＩＭ 二极管的伏安特性进行了测试与比较。结果表明，用溅射／阳极氧化二步法制备的Ｔａ２Ｏ５ 膜作绝缘层的ＭＩＭ 二极管，其Ｉ－Ｖ特性的非线性系数β＝ ２５，远高于阳极氧化法及溅射法所得Ｔａ２Ｏ５ 膜的ＭＩＭ 二极管的非线性系数（β＝ ９和５），电流通断比（１０５）分别较阳极氧化法及溅射法工艺制备的ＭＩＭ－ＴＦＤ高１和３ 个数量级。
- 黄蕙芬
- 关键词：薄膜二极管TA2O5绝缘膜I-V特性
- 热处理对MIM薄膜二极管Ta_2O_5绝缘膜微结构及其IU特性的影响被引量：5
- 1999年
- 制备了一种用于有源矩阵液晶显示、具有对称结构的MIM薄膜二极管 ,其中Ta2 O5膜采用溅射 /阳极氧化两步法工艺制成。对绝缘膜进行真空热处理 (一步热处理 )和经真空热处理后再进行大气热处理 (真空 /大气两步热处理 )。用原子力显微镜和透射电子显微镜分析了Ta2 O5膜的微结构 ,测试了MIM薄膜二极管的I U特性曲线。讨论了热处理对Ta2 O5绝缘膜微结构和MIM薄膜二极管I U特性的影响 ,并指出了MIM薄膜二极管I
- 黄蕙芬唐泽荣钟锐张浩康
- 关键词：MIM薄膜二极管微结构
- MIM薄膜二极管的导电机理及其特性的研究
- 该文论述了MIM-LCO的工作原理;详细介绍了Ta/Ta<,2>O<,5>/Ta结构的MIM薄膜二极管的制备工艺;并且研制了四种不同方法制备的Ta<,2>O<,5>膜作绝缘层的MIM薄膜二极管.作者测试出了四种不同方法制...
- 沈素荣
- 关键词：MIM薄膜二极管液晶显示导电机理
- 有源矩阵液晶显示用MIM薄膜二极管的研究
- ＭＩＭ薄膜二级管作为有源矩阵液晶显示中的非线性无任具有广泛的推广价值。该项目在国内外首次采用“溅射／阳极氧化”二步法工艺代替常用的阳极氧化法工艺制备Ｔａ〈，２〉Ｏ〈，５〉介质膜作ＭＩＭ－ＴＦＤ的绝缘层，所制薄膜二极管其Ｉ...
- 关键词：
- 关键词：薄膜二极管有源矩阵液晶器件
- 用于有源矩阵液晶显示的Ta-Ta2O5-TaMIM薄膜二极管被引量：3
- 1999年
- 本文介绍了一种用于有源矩阵液晶显示、具有对称结构的ＭＩＭ薄膜二极管，其中Ｔａ２Ｏ５膜采用溅射／阳极氧化两步法制成。实验结果表明，用此法制备的氧化钽膜作绝缘层的ＭＩＭ二极管，具有良好的开关特性。
- 黄蕙芬庄大明张浩康刘云峰
- 关键词：有源矩阵MIM薄膜二极管
- 有源矩阵液晶显示的进展被引量：3
- 1995年
- 在分析了无源矩阵驱动的局限性的基础上，叙述和比较了ＭＩＭ薄膜二极管和ａ－Ｓｉ薄膜晶体管有源矩阵液晶显示的结构、工作原理和特性，并讨论了它们的进展与发展方向。
- 陈国平张随新
- 关键词：有源矩阵液晶显示MIM薄膜二极管
相关作者
- 黄蕙芬
- 作品数：21被引量：41H指数：5
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院
- 研究主题：TA MIM薄膜二极管 电子束蒸发 薄膜二极管 电致发光
- 张浩康
- 作品数：37被引量：46H指数：4
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：MIM薄膜二极管 微处理器 反应溅射 电子束蒸发 触摸技术
- 钟锐
- 作品数：125被引量：148H指数：8
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：开关磁阻电机 电流采样电路 开关磁阻 SEP3203 功率变换器
- 马俊
- 作品数：1被引量：2H指数：1
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院
- 研究主题：MIM薄膜二极管 I-V特性 I-V 反应溅射 多层介质膜
- 张随新
- 作品数：15被引量：23H指数：3
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：阳光控制膜玻璃 幕墙玻璃 反应溅射 氧化锡 二氧化硅膜
