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作品数:131被引量:234H指数:9
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曹永明
作品数:33被引量:34H指数:3
供职机构:复旦大学材料科学系
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陈春华
作品数:19被引量:24H指数:3
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:二次离子质谱 砷化镓 SIMS GAAS ALN
马农农
作品数:24被引量:16H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:二次离子质谱 硅 砷化镓 SIMS 硼
刘容
作品数:2被引量:0H指数:0
供职机构:天津电子材料研究所
研究主题:硅 SIMS分析 二次离子质谱 砷 硼