-
石莎莉
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 夏洋

- 作品数:513被引量:68H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李超波

- 作品数:378被引量:160H指数:7
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
- 李勇滔

- 作品数:197被引量:23H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:等离子体 SUB 硅衬底 射频电源 离子注入
- 陈波

- 作品数:66被引量:28H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 半导体制造技术 基片 含氮 化学吸附
- 万军

- 作品数:43被引量:34H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 含氮 原子层沉积 化学吸附 含碳