郭小娴
作品数: 15被引量:4H指数:1
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

黄惠杰
作品数:491被引量:654H指数:16
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
曾爱军
作品数:228被引量:255H指数:11
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
谢承科
作品数:28被引量:15H指数:2
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 生物免疫 光学系统 免疫层析
王向朝
作品数:825被引量:1,352H指数:19
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
江晓军
作品数:8被引量:21H指数:1
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:同步移相 移相器 移相 干涉仪 瓦特