钟旻
作品数： 53被引量：0H指数：0
  • 所属机构:上海集成电路研发中心
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

陈寿面
作品数：137被引量：9H指数：2
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：晶体管 光刻 像元 电极 图像
李铭
作品数：171被引量：5H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
黄仁东
作品数：41被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
胡正军
作品数：40被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 清洗方法 硅 干法刻蚀 二氧化硅
作品列表