吴国强
作品数: 24被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市

相关作者

王跃林
作品数:721被引量:796H指数:14
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
徐德辉
作品数:98被引量:23H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
熊斌
作品数:218被引量:197H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
姚邵康
作品数:10被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片 塑性形变 透镜 键合 制作方法
徐铭
作品数:7被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片 塑性形变 衬底 差分电容 弹性梁