-
张大成
-

-

- 所属机构:北京大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 李婷

- 作品数:188被引量:211H指数:8
- 供职机构:北京大学
- 研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
- 杨芳

- 作品数:96被引量:21H指数:3
- 供职机构:北京大学
- 研究主题:刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
- 王玮

- 作品数:674被引量:821H指数:15
- 供职机构:北京大学
- 研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 芯片 硅基
- 田大宇

- 作品数:138被引量:79H指数:4
- 供职机构:北京大学
- 研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
- 罗葵

- 作品数:79被引量:8H指数:2
- 供职机构:北京大学
- 研究主题:刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀