-
陈土泉
-
-
- 所属机构:中国科学院研究生院
- 所在地区:北京市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:应用光学国家重点实验室开放基金
相关作者
- 马冬梅
- 作品数:161被引量:200H指数:9
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:干涉仪 面形误差 面形检测 点衍射干涉仪 面形
- 刘志祥
- 作品数:36被引量:70H指数:6
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:波像差 投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差
- 聂真威
- 作品数:34被引量:49H指数:5
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学系统 光学成像系统 调制传递函数 衍射 狭缝
- 张海涛
- 作品数:97被引量:32H指数:4
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:干涉仪 点衍射干涉仪 光学元件 面形误差 面形检测
- 金春水
- 作品数:356被引量:268H指数:8
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形