任丁
作品数: 29被引量:15H指数:2
  • 所属机构:四川大学
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

林黎蔚
作品数:39被引量:10H指数:2
供职机构:四川大学
研究主题:扩散阻挡层 阻挡层 铜互连 超深 SUB
黄宁康
作品数:85被引量:125H指数:6
供职机构:四川大学
研究主题:SIC涂层 离子束 涂层 ZRO 电子束
刘波
作品数:90被引量:148H指数:6
供职机构:四川大学
研究主题:阻挡层 扩散阻挡层 SUB 超深 铜互连
展长勇
作品数:36被引量:20H指数:3
供职机构:四川大学
研究主题:多孔硅 高压脉冲电源 离子源 电化学刻蚀 形貌
邹宇
作品数:29被引量:4H指数:1
供职机构:四川大学
研究主题:高压脉冲电源 离子源 多孔硅 电化学刻蚀 掺杂