邓玖根
作品数： 8被引量：15H指数：2
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

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张正荣
作品数：13被引量：22H指数：3
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作品数：69被引量：2H指数：1
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研究主题：光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
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