唐文栋
作品数: 9被引量:20H指数:2
  • 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

刘玉岭
作品数:481被引量:746H指数:13
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
田军
作品数:14被引量:7H指数:2
供职机构:河北工业大学
研究主题:硬盘基板 CMP 粗糙度 计算机 去除速率
王立发
作品数:26被引量:43H指数:4
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 硬盘基板 测试装置
张国玲
作品数:3被引量:0H指数:0
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 超精密加工 粗糙度 MG(OH)2 CACO3
宁培桓
作品数:3被引量:13H指数:2
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:SI 硅晶片 单晶片 黏度 切削液