-
唐文栋
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 刘玉岭
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:481被引量:746H指数:13
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 田军
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:14被引量:7H指数:2
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:硬盘基板 CMP 粗糙度 计算机 去除速率
- 王立发
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:26被引量:43H指数:4
- 供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
- 研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 硬盘基板 测试装置
- 张国玲
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:3被引量:0H指数:0
- 供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 研究主题:CMP 超精密加工 粗糙度 MG(OH)2 CACO3
- 宁培桓
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:3被引量:13H指数:2
- 供职机构:河北工业大学信息工程学院
- 研究主题:SI 硅晶片 单晶片 黏度 切削液