尹文生
作品数: 320被引量:654H指数:12
  • 所属机构:华中科技大学
  • 所在地区:湖北省 武汉市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

朱煜
作品数:555被引量:787H指数:15
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
张鸣
作品数:390被引量:264H指数:9
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
徐登峰
作品数:206被引量:53H指数:5
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
胡金春
作品数:212被引量:144H指数:7
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
杨开明
作品数:268被引量:440H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机