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徐东波
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- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 王向朝
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- 作品数:828被引量:1,367H指数:19
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
- 闫观勇
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- 作品数:44被引量:24H指数:4
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
- 段立峰
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- 作品数:19被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
- 杨济硕
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- 作品数:19被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:波像差 投影物镜 像差 主成分 光刻机
- 彭勃
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- 作品数:18被引量:10H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分