-
王宇
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 王倩

- 作品数:37被引量:9H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:准分子激光器 激光器 参考电极 敏感场 读出电路
- 宗明成

- 作品数:53被引量:27H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:对焦 光刻机 工件台 硅片 镜筒
- 王硕

- 作品数:17被引量:5H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:芯片 收发机 CMOS 电容 传感器
- 殷华湘

- 作品数:745被引量:17H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
- 刘立拓

- 作品数:30被引量:12H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:极紫外 重复频率 成像 反射光 灵敏度