-
刘晓林
-
-
- 所属机构:北京理工大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 李艳秋
- 作品数：444被引量：338H指数：11
- 供职机构：北京理工大学
- 研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
- 刘克
- 作品数：94被引量：74H指数：7
- 供职机构：北京理工大学
- 研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
- 胡大伟
- 作品数：3被引量：13H指数：1
- 供职机构：北京理工大学
- 研究主题：投影光刻物镜 场曲 光刻系统 光刻分辨率 相对孔径
- 曹振
- 作品数：13被引量：24H指数：3
- 供职机构：北京理工大学
- 研究主题：极紫外 投影光刻物镜 放大倍率 反射镜 光学设计
