朱玲琳
作品数: 56被引量:22H指数:3
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

曾爱军
作品数:229被引量:262H指数:11
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
黄惠杰
作品数:492被引量:667H指数:16
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
刘龙海
作品数:20被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 测量方法 计算机组成 锁相放大器 波片
刘蕾
作品数:23被引量:41H指数:4
供职机构:中国科学院
研究主题:移相 生物传感器 光刻机 剪切干涉仪 计算机组成
张方
作品数:58被引量:71H指数:7
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统