朱菁
作品数: 65被引量:84H指数:6
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国际科技合作与交流专项项目

相关作者

黄惠杰
作品数:490被引量:643H指数:16
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
杨宝喜
作品数:93被引量:142H指数:8
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
陈明
作品数:65被引量:23H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
曾爱军
作品数:228被引量:252H指数:10
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
胡中华
作品数:26被引量:67H指数:5
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻