-
杨良民
-

-

- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 路敦武

- 作品数:48被引量:122H指数:5
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
- 黄惠杰

- 作品数:491被引量:654H指数:16
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
- 沈蓓军

- 作品数:15被引量:14H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
- 杜龙龙

- 作品数:50被引量:114H指数:6
- 供职机构:湖州职业技术学院
- 研究主题:敏感区 散射光 光学传感器 信噪比 在线检测装置
- 赵永凯

- 作品数:78被引量:259H指数:12
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶