-
田杨超
-

-

- 所属机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
- 所在地区:安徽省 合肥市
- 研究方向:核科学技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 胡一贯

- 作品数:23被引量:62H指数:6
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:光刻 光刻掩模 LIGA技术 微细加工 LIGA
- 阚娅

- 作品数:22被引量:48H指数:4
- 供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
- 研究主题:光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
- 付绍军

- 作品数:199被引量:363H指数:9
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
- 陶晓明

- 作品数:32被引量:93H指数:7
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶
- 张新夷

- 作品数:155被引量:354H指数:9
- 供职机构:复旦大学物理教学实验中心
- 研究主题:GAAS 砷化镓 软X射线 XAFS 光电子能谱