裴舒
作品数： 29被引量：100H指数：7
  • 所属机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 所在地区:吉林省 长春市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

马月英
作品数：51被引量：115H指数：7
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 软X射线 软X射线多层膜 光学元件 磁控溅射
曹健林
作品数：43被引量：147H指数：5
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
金春水
作品数：356被引量：270H指数：9
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
吕俊霞
作品数：23被引量：67H指数：5
供职机构：同济大学
研究主题：软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
曹健林
作品数：49被引量：185H指数：8
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
作品列表