王建峰
作品数： 8被引量：0H指数：0
  • 所属机构:北京理工大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:文化科学

相关作者

李艳秋
作品数：442被引量：335H指数：11
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
刘克
作品数：92被引量：74H指数：7
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
汪海
作品数：24被引量：9H指数：1
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
刘丽辉
作品数：54被引量：7H指数：1
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
作品列表