-
初国超
-
-
- 所属机构:北京七星华创电子股份有限公司
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 吴仪
- 作品数：163被引量：3H指数：1
- 供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
- 研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
- 裴立坤
- 作品数：66被引量：0H指数：0
- 供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
- 研究主题：储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
- 何金群
- 作品数：40被引量：0H指数：0
- 供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
- 研究主题：储液罐 补液 循环泵 气动阀 管路
- 王营营
- 作品数：17被引量：0H指数：0
- 供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
- 研究主题：储液罐 紧固件 螺母 存储装置 超纯水
- 刘效岩
- 作品数：61被引量：82H指数：6
- 供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
