邰晶
作品数: 2被引量:0H指数:0
  • 所属机构:北京七星华创电子股份有限公司
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:文化科学

相关作者

刘晨曦
作品数:6被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体工艺设备 半导体工艺 减速 脉冲 温控系统
周峰
作品数:13被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 氧化炉 控制方法 开关 碰撞
王峰
作品数:13被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:CVD设备 半导体工艺设备 温控系统 微分控制 自校正调节