-
张恒
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 王向朝
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:825被引量:1,352H指数:19
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
- 李思坤
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:167被引量:181H指数:9
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
- 闫观勇
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:44被引量:24H指数:4
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
- 沈丽娜
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:27被引量:23H指数:3
- 供职机构:新疆师范大学物理与电子工程学院
- 研究主题:投影物镜 光刻机 大数值孔径 波像差 数值孔径
- 管文超
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:6被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:掩模 仿真方法 极紫外光刻 多层膜 近似法