张利斌
作品数： 86被引量：5H指数：2
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

韦亚一
作品数：204被引量：39H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
董立松
作品数：96被引量：19H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
何建芳
作品数：19被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：掩模 光刻 光源 光刻工艺 仿真方法
粟雅娟
作品数：66被引量：24H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
王向朝
作品数：828被引量：1,367H指数：19
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
作品列表