-
刘卫静
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 林妩媚
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:127被引量:132H指数:7
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:投影物镜 光刻 光焦度 照明系统 像差
- 邢廷文
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:251被引量:414H指数:12
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
- 李斌成
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:231被引量:254H指数:10
- 供职机构:电子科技大学
- 研究主题:光学元件 光腔衰荡 反射率 光学谐振腔 连续激光
- 廖志杰
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:62被引量:58H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
- 曲哲超
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:26被引量:15H指数:2
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光学谐振腔 测量方法 激光器 光学元件 反射率