-
王英辉
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:金属学及工艺
- 发文基金:中国科学院科研项目
相关作者
- 尚海平
- 作品数：56被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：压力传感器 压阻 衬底 非制冷红外成像 平面阵列
- 王玮冰
- 作品数：124被引量：87H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：MEMS 自测试 压阻传感器 压阻 红外光源
- 王盛凯
- 作品数：154被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：微波等离子体 沟道 衬底 含氧气体 键合
- 徐杨
- 作品数：20被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：薄膜晶体管 键合 点压 沟道 热压键合
- 孙业超
- 作品数：7被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：压阻 压力传感器 承压 SIC 边线
