江苏省产学研前瞻性联合研究项目(BY2011133)
- 作品数:2 被引量:2H指数:1
- 相关作者:李军肖玉婷潘涛徐国定程新利更多>>
- 相关机构:苏州科技学院更多>>
- 发文基金:江苏省产学研前瞻性联合研究项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电气工程电子电信更多>>
- MEMS热驱动可变电容的有限元模拟研究
- 2014年
- 设计了一种热致驱动MEMS可变电容器,其主要结构由固定于衬底的下极板和可上下活动的上极板组成;上极板由四个对称结构的热驱动器驱动,每个热驱动器主要包括两根冷臂和两根加热臂。通过输入电压,热驱动器发生形变,带动电容器的上极板向上运动,从而使电容值减小。有限元方法模拟结果表明:在4 V驱动电压下,加热臂长为150μm时,电容值变为原先的0.3倍;而加热臂长为300μm时,电容值只有原先的1/10。
- 沈娇艳陈立军程新利臧涛成
- 关键词:有限元分析可变电容
- 纳米层状结构非局域等离激元传播长度研究被引量:2
- 2015年
- 研究了非局域效应情况下,表面等离子体激元在以各向异性材料为衬底的纳米层状结构中的传播特性。详细推导了表面等离子体激元在各向异性纳米层状结构中的色散关系式,并通过数值计算,研究了对称与反对称两种不同模式下传播长度随结构和材料等参数的变化关系。
- 李军肖玉婷徐国定潘涛
- 关键词:各向异性非局域