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江苏高校优势学科建设工程资助项目(1033000002)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：马明高传玉李保家李浩华周明更多>>
相关机构：江苏大学更多>>
发文基金：江苏高校优势学科建设工程资助项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇透光率
  • 1篇退火
  • 1篇退火温度
  • 1篇溅射
  • 1篇光电
  • 1篇方块电阻
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇江苏大学

作者

  • 1篇周明
  • 1篇李浩华
  • 1篇李保家
  • 1篇高传玉
  • 1篇马明

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
H_2气氛退火处理温度对磁控溅射ZnO薄膜光电性能的影响
2013年
在室温下,采用直流磁控溅射法,以载玻片作为衬底,淀积出ZnO薄膜。在常压H2气氛中,以不同温度对样品进行退火处理。结果表明,在退火温度为500℃时,样品具有最佳综合光电性能,其在360～960nm波长范围内的平均透光率为76.35%,方块电阻为6.3kΩ/□。
马明高传玉周明李保家李浩华
关键词：ZNO薄膜退火温度透光率方块电阻
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