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国家自然科学基金(61201035)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：汪家奇唐祯安更多>>
相关机构：大连理工大学更多>>
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相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇真空
  • 1篇微热板
  • 1篇半导体
  • 1篇CMOS工艺
  • 1篇CMOS工艺...
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感器系统
  • 1篇传感器研究

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇汪家奇
  • 1篇唐祯安

传媒

  • 1篇传感技术学报
  • 1篇实验技术与管...

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
自制集成皮拉尼真空传感器系统在半导体加工设备中的应用被引量：1
2018年
为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感105~10-1 Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路,构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统,可直接用于半导体设备腔室中真空度的测量。
汪家奇
与CMOS工艺兼容的皮拉尼传感器研究被引量：1
2013年
皮拉尼传感器广泛用于105Pa～10-1Pa的粗真空测量。本文在基于MEMS工艺的皮拉尼传感器的基础上研制了一款与标准CMOS工艺兼容的皮拉尼传感器。它采用钨微热板作为敏感元件,工作在恒电流模式下。该传感器利用0.5μm标准CMOS工艺加工,对10-1Pa～105Pa的气压有响应,尤其对1 Pa～100 Pa气压具有线性响应。
汪家奇唐祯安
关键词：CMOS工艺MEMS微热板
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