中国博士后科学基金(20081463)
- 作品数：2 被引量：16H指数：1
- 相关作者：刘旭顾培夫沈伟东章岳光何俊鹏更多>>
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- 原子层沉积制备Al_2O_3薄膜的光学性能研究被引量：16
- 2010年
- 研究了原子层沉积制备氧化铝薄膜的光学性能。以三甲基铝(TMA)和水为前聚体,分别在基板温度为250℃和300℃的K9和石英玻璃衬底上沉积了Al2O3光学薄膜。采用分光光度计,X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM),扫描电子显微镜(SEM)等分析手段对薄膜的微结构、表面形貌和光学特性进行了研究。结果表明,原子层沉积法制备的Al2O3薄膜在退火前后均呈现无定形结构,元素成分接近化学计量比,其表面粗糙度小于1.2nm,聚集密度高于0.97,光学非均匀性优于1%。同时在中紫外到近红外均有很好的光学性能,适合作为中间折射率和低折射率材料在光学薄膜中得到应用。
- 何俊鹏章岳光沈伟东刘旭顾培夫
- 关键词：薄膜光学原子层淀积光学特性
- 基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究
- 2010年
- 采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450～900nm)下的光谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离.利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离,结果与千分尺数值之间的偏差小于1%,同时获得了99.9%的线性度.还测试了BK7玻璃的厚度,与其他方法相比,其精度达0.21%.分析了影响测试精度的因素,并对测距范围进行了讨论.
- 薛晖倪肖勇沈伟东章岳光刘旭顾培夫
- 关键词：测距光纤光谱仪
