江苏省高校自然科学研究项目(08KJB510014)
- 作品数：4 被引量：6H指数：2
- 相关作者：方玉明李普李伟华更多>>
- 相关机构：东南大学南京邮电大学更多>>
- 发文基金：江苏省高校自然科学研究项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析
- 基于扭臂式微驱动器模型,根据边缘电容效应不可忽略的特点,推导出计及边缘效应的电容表达式,利用能量法求解扭臂式微执行器的pull-in参数计算公式。对于这种不满足平行板简化计算条件的模型,计及边缘效应计算式具有更好的准确性...
- 朱文俊方玉明石文尚
- 关键词：微执行器静电
- 文献传递
- 平板式静电微执行器的静态pull-in现象
- 基于平板式静电微执行器的模型,分析了其pull-in现象,并且在考虑边缘效应的情况下,即根据考虑电容边缘效应的理论模型,推导出平板式静电微执行器的pull-in参数。然后用有限元分析软件ANSYS建模,得到其pull-i...
- 石文尚方玉明朱文俊
- 关键词：平板式微执行器有限元分析
- 文献传递
- 考虑直流偏置电压影响的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼新模型被引量：2
- 2009年
- 正确预测MEMS器件的挤压膜阻尼在器件的设计阶段具有非常重要的意义。提出了一个新的、考虑直流偏置电压引起静态变形的挤压膜阻尼模型。运用雷诺方程和弹性梁方程的耦合,将挤压膜间隙中的二维压力函数表示为长度方向的一维抛物线函数与宽度方向的一维余弦函数之积。由于模型考虑了直流偏置电压引起的静态变形的影响,有更广的应用范围。与实验结果的对比表明,模型有足够的精度。
- 李普方玉明
- 关键词：MEMS
- 衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析被引量：1
- 2009年
- 与静电微执行器类似,磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题。但相对于静电微执行器详尽的模型相比,研究磁微执行器的文献很少。对于宏观器件,由于磁芯磁阻可以忽略,所以可利用电磁类比,得到Pull-in失稳参数。而对于微观器件,磁芯磁阻不可以忽略,不可利用电磁类比。基于小信号模型对衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in的失稳现象首先进行了分析和建模,考虑了微磁芯磁阻,在建立磁微执行器动态小信号模型的基础上,分析发现衔铁平行运动的磁微执行器中不存在Pull-in现象。然后又采用能量法研究了同样的Pull-in失稳问题,得出了和力法相同的结论。最后,给出了一个分析实例,以反映微磁芯磁阻对Pull-in的影响,同时证实了衔铁平行运动的磁微执行器中不存在Pull-in现象的结论。结论对于磁微执行器的设计具有重要意义。
- 方玉明李伟华
- 关键词：MEMS微执行器PULL-IN
- 低压下微机械谐振器件挤压膜阻尼分子动力学仿真的一种高效算法被引量：2
- 2009年
- 正确预测挤压膜气体阻尼对于微机械谐振器件的设计是至关重要的。目前,当气压不太低时,已经有比较完善的连续介质模型能描述挤压膜气体阻尼。当气压很低时,气体连续介质模型不再适用,只能采用分子动力学方法。但是,当前关于自由分子区域中的微谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学研究非常少,为了避免计算量过大,还未有三维的挤压膜阻尼分子动力学模型。提出一种高计算效率的三维分子动力学算法。该方法以气体分子速度分布函数生成每一分子的初始速度,通过分别单独计算每一气体分子在一个振动周期内与器件碰撞获得的动能增量,得到一个振动周期内气体分子总体动能增量,从而计算器件挤压膜阻尼。与已有的实验结果对比表明,该算法具有良好的精度,而且计算量是可以接受的。
- 高流李普方玉明
- 关键词：分子动力学品质因数
- 静磁微执行器模型研究进展被引量：1
- 2009年
- 磁驱动微执行器是一种重要的微执行器。与静电驱动相比,磁驱动具有一些无可替代的优点。静磁驱动是磁驱动方式中重要的一种,具有广阔的应用前景。综述了国内外静磁微执行器模型的最新进展,分析了各类模型的优缺点,特别强调了在微观领域,不能通过简单的电-磁类比得到相应的磁微执行器的各类模型。讨论了磁微执行器的各种典型的pull-in模型。这些模型对磁微执行器的设计、分析与优化具有重要的参考和实用价值。
- 方玉明李伟华
- 关键词：分布参数宏模型
