中国航空科学基金(03I53066)
- 作品数：3 被引量：13H指数：3
- 相关作者：马炳和苑伟政邓进军朱延波陈爽更多>>
- 相关机构：西北工业大学空军工程大学更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器被引量：3
- 2005年
- 为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测,设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器。传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里帕罗标准具,并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连。确定了MEMS微型传感器的关键结构与尺寸,并对压力敏感膜片的变形及反射率等进行了理论计算和行为仿真,结果表明达到预期的设计目标。该传感器具有精度高、抗电磁干扰、尺寸小、耗能低等优点。
- 陈爽李晓莹马炳和苑伟政
- 关键词：微机电系统微型压力传感器
- 用于三角翼气动控制的MEMS微致动器被引量：7
- 2004年
- 结合三角翼气动特征 ,介绍了两种用于三角翼前缘涡控制的 MEMS微致动器 ,它们通过扰动边界层的分离 ,打破三角翼前缘分离涡的对称性 ,从而产生控制力矩。描述了微气泡致动器的工作原理、薄膜材料的选择以及结构工艺。利用计算流体力学软件对微气泡致动器阵列扰动下三角翼前缘涡的变化情况进行了数值仿真 ,进一步验证了控制方案的可行性。
- 邓进军马炳和苑伟政朱延波
- 微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究被引量：3
- 2005年
- 应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法.
- 刘奎苑伟政邓进军马炳和姜澄宇
- 关键词：微型传感器热敏元件薄膜电阻电阻温度系数
