江苏省自然科学基金(BK2005215)
- 作品数：4 被引量：16H指数：3
- 相关作者：左敦稳孙玉利朱永伟卢文壮王宏宇更多>>
- 相关机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程化学工程金属学及工艺更多>>
- 工件旋转式磨削大直径硅片技术的研究进展被引量：4
- 2006年
- 在分析单晶硅片的典型加工工艺基础上,介绍了基于工件旋转式磨削法的大直径硅片超精密加工技术的原理及特点,综述了该项技术的试验研究进展及建立的数学模型,分析了有限元法在工件旋转式磨削硅片研究中的应用,最后提出了工件旋转式磨削大直径硅片技术目前存在的问题和今后的发展趋势。
- 孙玉利左敦稳朱永伟布光斌王鸿翔
- 关键词：超精密加工平整度
- 基于有限元法的硅片冰冻固结磨料抛光温度场分析被引量：2
- 2009年
- 本文分析了低温固结磨料抛光硅片的传热模型,并借助有限元软件ANSYS对热传导过程进行了仿真,获得了冰冻磨具在不同抛光时刻的温度场等温图及工作区域的融化厚度值。并且在相同工艺参数下,进行抛光实验,验证了有限元数值分析结果。分析仿真结果表明:环境温度为20℃情况下,磨削热并非是导致冰冻磨具融化的主要原因,周围空气对流换热对温度场的影响较大,磨具温升速度为先快后慢,抛光区域的融化速度比较稳定。采用此有限元模型,可以分析抛光时间、环境温度等参数对温度场的影响,为低温固结磨料抛光硅片的温度场研究提供理论指导。
- 赵宇飞左敦稳孙玉利卢文壮
- 关键词：温度场有限元法抛光
- 纳米α-Al_2O_3在水相介质中的分散性能被引量：6
- 2008年
- 在对纳米α-Al2O3粉体的Zeta电位进行测量的基础上,采用无机电解质类分散剂(SHP),阴离子型表面活性剂油酸,阳离子型表面活性剂十六烷基三甲基氯化铵(CTAC)以及非离子型表面活性剂异丙醇胺(DIPA)对纳米α-Al2O3粉体进行了分散实验,系统研究了超声分散时间、表面活性剂种类和浓度对纳米α-Al2O3粉体在水相介质中分散性能的影响。结果表明,随超声时间的延长和分散剂浓度的增加,纳米α-Al2O3粉体的分散性均出现先增后降的变化规律,对于每一种分散剂均存在最佳超声时间和最佳浓度。纳米α-Al2O3粉体在水相介质中的最佳分散工艺为:超声时间40 min,浓度为1.5%的CTAC。
- 孙玉利左敦稳朱永伟王宏宇卢文壮
- 关键词：分散性分散剂
- 连续刚度法对单晶硅片的力学性能的表征被引量：4
- 2007年
- 利用纳米压痕仪通过连续刚度测量法对单晶硅片在压入过程中的接触刚度、硬度、弹性模量进行了连续测量。结果表明:当接触深度在20～32nm左右时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成直线关系,硬度和弹性模量基本保持不变,此时所测得的是单晶硅片表面氧化层的硬度和弹性模量,分别约为10.2 GPa和140.3 GPa。当接触深度在32～60nm左右时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成非直线关系,硬度和弹性模量随接触深度急剧增加,表明单晶硅片表面氧化层的硬度和弹性模量受到了基体材料的影响。当接触深度在60nm以上时,单晶硅片的接触刚度与接触深度成直线关系,硬度和弹性模量基本保持不变,测得值为单晶硅的硬度和弹性模量,分别约为12.5GPa和165.6GPa。
- 孙玉利左敦稳朱永伟徐锋王珉
- 关键词：单晶硅片纳米压痕力学性能
