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中国博士后科学基金(20070410889)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：谷志强王洪祥王景贺郭晓云更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学佳木斯大学哈尔滨工程大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇真空
  • 1篇面形
  • 1篇面形精度
  • 1篇晶体
  • 1篇KDP晶体

机构

  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇佳木斯大学

作者

  • 1篇郭晓云
  • 1篇王景贺
  • 1篇王洪祥
  • 1篇谷志强

传媒

  • 1篇佳木斯大学学...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
KDP晶体真空吸附方式对加工面形精度的影响
2009年
建立KDP晶体与真空吸盘间有限元接触模型,并利用该模型分析吸气孔和吸气槽真空吸盘对KDP晶体面形精度的影响,分析了不同直径的吸气孔真空吸盘对KDP晶体变形的影响.结果表明:增大真空吸盘的占空比,可以减小完全吸附所需的真空度.吸气孔的直径越小,表面的变形越小.研究还发现,采用吸气孔吸附方式比采用吸气槽吸附方式可以得到更理想的面形质量.该结论对提高KDP晶体面形精度有着重要指导意义.利用超精密机床采用真空孔吸附方式加工KDP晶体,加工出面形精度为1/2λ的表面.
王景贺郭晓云孟庆鑫王洪祥谷志强
关键词：KDP晶体面形精度
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