国家教育部博士点基金(20030358018)
- 作品数：13 被引量：56H指数：4
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- 相关机构：中国科学技术大学南开大学国家电网公司更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金中国科学技术大学研究生创新基金中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
- 改进的飞秒激光加工微型光波导方法被引量：7
- 2007年
- 分析了垂直式加工中加工区域光强分布不对称的原因,从理论上总结出改进这种不对称的方法。在分析了仅引入单个透镜就能实现这一改进的可行性后,实验验证了这种改进方法。未改进之前加工出的光波导其端口两个方向直径之比为10∶1,甚至更高;而改进后的比例则非常接近1∶1。通过对光强不对称的改进,该方法有光路简单,无能量损失的优势。
- 龚小竞褚家如杨建军张铁群朱晓农
- 关键词：飞秒激光
- 溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜被引量：1
- 2006年
- 首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜,分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点,系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点,并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响.针对整个工艺过程进行了优化,最终得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜.
- 吴亚雷吴建华褚家如
- 关键词：PZT薄膜升温控制
- PZT薄膜驱动的全光纤相位调制器数学模型被引量：7
- 2007年
- 提出了一种简单、高效的PZT压电陶瓷薄膜覆膜驱动的全光纤相位调制器数学模型,该模型计入了PZT压电陶瓷薄膜侧向压电常数d31对相位调制效率的影响,结果表明,对于PZT压电陶瓷薄膜覆膜驱动的全光纤相位调制器,这种影响是不能忽略的,由侧向压电常数d31引起的相位调制相当于由压电常数d33引起的相位调制的15%。应用此模型计算了PZT压电陶瓷薄膜、内电极以及外电极的机械与压电性能等参数对于全光纤相位器的相位调制效率的影响。该模型可应用于全光纤相位调制器的设计与优化。
- 吴亚雷吴有金朱龙洋刘芳褚家如
- 关键词：频率响应PZT薄膜
- PZT铁电薄膜湿法刻蚀技术研究被引量：12
- 2005年
- 介绍了一种刻蚀效果良好的PZT薄膜的湿法刻蚀方法。在分析了刻蚀液成分对刻蚀效果影响的基础上,选择体积比为1∶2∶4∶4的BHF/HCl/NH4Cl/H2O溶液作为刻蚀液,刻蚀速率为0.016μm/s。实验表明,刻蚀得到的PZT薄膜图形表面无残留物,侧蚀比小(1.5∶1),侧面倾角约60°。刻蚀液对光刻胶和PZT薄膜底电极Pt的选择性好,该工艺适用于MEMS领域中PZT薄膜的微图形化。
- 郑可炉褚家如鲁健李恒
- 关键词：湿法刻蚀
- 用于扫描刻蚀加工的微小等离子体反应器的设计和实验被引量：1
- 2005年
- 提出了一种新的基于并行探针的扫描等离子体刻蚀加工方法,设计并研制了其中的核心器件——微小等离子体反应器,测量了该器件的伏安特性曲线,分析了其电学性能随工作气压和器件尺寸的变化规律,以及器件损坏的机制,实验结果表明,当放电气体为SF6,工作气压在2 000-6 000 Pa之间变化时,该器件能产生较为稳定的微等离子体,放电电压在390-445 V之间,功率密度在10-150 W/cm2之间,从而为进一步将其应用到扫描硅刻蚀加工提供可能。
- 王海文莉褚家如
- 关键词：微机电系统伏安特性曲线
- 静电雾化技术在纳米薄膜制备中的应用研究被引量：3
- 2006年
- 对静电雾化的基本概念、原理和典型喷洒模式作了介绍,对静电雾化技术在纳米薄膜制备中的应用进行了阐述,最后对静电雾化技术在薄膜制备中存在的问题和影响薄膜微观结构和性能的因素作了总结。
- 许高斌褚家如
- 关键词：纳米材料工艺参数
- 溶胶-电雾化系统雾滴速度场LDV测量的研究被引量：1
- 2004年
- 用基于多普勒频移和相位差原理的LDV(LaserDopplerVelocimeter)技术研究了溶胶-电雾化系统中荷电雾滴的轴向速度及其分布,并分析了雾滴在输运过程中的受力情况。结果表明,在电场力、重力、流体拖曳力等共同作用下,雾滴轴向速度在垂直于雾场轴线的平面内沿远离轴线的方向逐渐降低,但各点速度分布的标准偏差趋于减小;随着轴向距离的增加,雾滴速度明显增大,在距喷头5cm处高达1 2m/s,并沿径向分布趋于一致。这些结果为溶胶 电雾化系统中薄膜沉积过程的理论研究提供了实验依据。
- 鲁健褚家如秦俊
- 关键词：PZT铁电薄膜微机电系统
- PZT溶胶液静电雾化雾场模拟被引量：15
- 2006年
- 通过对商用计算流体力学软件FLUENT进行功能扩展,实现了空气流场、空间电场和离散雾场多场耦合过程的数值模拟.由实验数据确定雾滴的滴径和电量,采用拉格朗日模型计算雾滴在重力、空气阻力、外部电场力及雾滴间相互库伦排斥力作用下的运动轨迹,并得到雾滴的速度与其空间分布密度,由此计算雾滴在衬底上的沉积通量.
- 吴有金吴亚雷许晓慧褚家如
- 关键词：PZT薄膜
- 基于激光多普勒技术的PZT薄膜压电性能测试研究被引量：3
- 2005年
- 应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了PZT(Pb(Zr,Ti)O3)铁电薄膜的压电性能测试。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并提高激光多普勒系统的位移检测分辨率,使其达到皮米量级。此外,研究了用溶胶-凝胶技术和溶胶-电雾化技术制备得到的PZT薄膜的电压-位移曲线和压电位移“蝴蝶线”,实验结果表明:在5 V直流偏置下测得两种方法制备得到的PZT薄膜的d33压电系数分别为218.7 pC/N和215.8 pC/N,相应的标准偏差分别为12.7和28.6。
- 许晓慧鲁健朱龙洋褚家如
- 关键词：PZT铁电薄膜激光多普勒技术数字锁相
- 基于数字调谐方法的微悬臂梁品质因数的研究
- 2005年
- 品质因数(Q值)是影响微悬臂梁设备灵敏度的关键因素．针对微悬臂梁在空气中品质因数低的问题,利用基于DSP的数字锁相技术,通过一种正反馈方法,对微悬臂梁的振动能量损耗进行补偿,将微悬臂梁的品质因数从181提高至871．实验表明,使用数字正反馈电路后,微悬臂梁振幅随其工作频率的变化表现出了更高的灵敏度, 从而能有效提高微悬臂梁用于微小形变检测时的检测灵敏度．
- 朱龙洋鲁健吴亚雷许晓慧褚家如
- 关键词：品质因数微悬臂梁数字调谐数字锁相
