浙江省教育厅科研计划(G20050436)
- 作品数:2 被引量:7H指数:1
- 相关作者:梁宜勇章哲明顾智企杨国光闫玮更多>>
- 相关机构:浙江大学复旦大学更多>>
- 发文基金:浙江省教育厅科研计划更多>>
- 相关领域:电气工程电子电信更多>>
- FPGA在直流电机调速中的应用被引量:6
- 2006年
- 提出将FPGA用于模拟对象即直流电机控制的新方案.当FPGA用于直流电机控制时,可以提高电机的调速精度、强化电机系统的控制功能.为了适应FPGA控制,直流电机调速系统在转速传感信号输入、功率驱动输出上进行了数字化改造.硬件上采用了20万门的FPGA,算法上引入数字PID控制器.实验表明直流电机调速系统具有灵活的控制性能和良好的调速精度.
- 孙戎梁宜勇
- 关键词:FPGA直流电机调速系统数字化
- 稳定线宽的过曝光控制被引量:1
- 2006年
- 在利用激光图形发生器制备微细图形时,为获得稳定的线条宽度,提出一种对薄胶层进行过曝光的技术.准直光束经物镜会聚后光斑的能量呈近似高斯分布,当胶层的曝光量阈值远离高斯型曝光量曲线的头部时,可以弱化线宽对实际曝光量或胶层曝光量阈值等变化的敏感度,从而提高线宽的稳定度.在涂有0.6μm薄胶的基片上,采用渐变曝光量的方法,利用激光束直写技术制取了一组短弧线,对线宽的测试结果表明,线宽与曝光量关系的实验性曲线和理论模型能较好地吻合.过曝光技术对线宽稳定度要求较高的器件,比如具有螺线波导的集成光学陀螺的制作有较重要价值.
- 梁宜勇顾智企章哲明闫玮杨国光
- 关键词:高斯光束曝光量线宽